生長(zhǎng)臺(tái)尺寸:φ70mm 可同時(shí)生長(zhǎng)7mm*7mm單晶45粒
10mm*10mm單晶21粒
控制方式:觸摸屏控制,PLC工藝菜單運(yùn)行(手動(dòng)或自動(dòng))
微波電源: MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵:Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量計(jì):日本KOFLOC
H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)
腔體冷卻方式:強(qiáng)制風(fēng)冷+水冷
測(cè)溫:紅外測(cè)溫儀300-1400℃
機(jī)臺(tái)尺寸:1215mm(長(zhǎng))*1114mm(寬)*2000mm(高)
供電:380V 三相五線
能耗:12kw